美國打壓中國的高科技發展,最重要的就是限制中國的芯片產業發展,其方式就是限制全球的高端光刻機輸入中國。不過,光刻機巨頭荷蘭的ASML公司今年仍參加了上海正在舉行的「進博會」,這也是該公司第四次參加中國進博會。ASML公司負責人接受中國媒體採訪時稱,ASML抱著開放合作的態度多次參與進博會,「中國市場在推動全球半導體產業發展上具有十分重要的作用。」
內地「觀察者網」記者採訪了ASML參展上海進博會的展台。ASML公司現場負責人以不公開姓名方式接受採訪,顯然ASML公司對此相當敏感。
據稱,由於光刻機的體型過大,ASML雖多次參展,但並未帶過真實的光刻機到進博會現場。今年該公司通過元宇宙視角展現其業務,包括配備先進工藝控制能力的光刻機台、計算光刻、光學及電子束量測,觀眾可以「親身」進入無塵室,近距離接觸光刻機。
ASML透露,目前該公司在中國的本地團隊能夠解決超過95%的客戶問題。在華DUV(深紫外光刻機)安裝、升級、遷移服務已實現完全本土化。同時該公司正在組建虛擬技術專家團隊,旨在以創新方式(ARES、HoloLens等)遠程解決各種復雜問題。
在本屆進博會上展示光刻技術的不止ASML一家,包括尼康、佳能等日本廠商也展示了光刻機、FPD曝光機和蒸鍍機等光學半導體產業設備的應用。
不過,高端光刻機市場仍是ASML一家獨大。第三方數據顯示,2021年ASML共出貨高端光刻機(EUV、ArFi、ArF)145台,占據95.4%的全球市場份額,EUV市場占有率達到100%。但在美國的干擾下,高端光刻機大多都因涉及美國技術,不能輸入中國。
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